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1．極限真空不高及其排除：
1)油位太低，不能對排氣閥起油封作用，旋去加油螺塞后有較大排氣聲，并有油霧，證明油位太低，加油即可排除。
2)油為可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，可并氣鎮凈化或換新油。
3)泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等漏氣，大漏時，旋去加油螺塞有大的排氣聲，并有氣和油霧排出，應找漏，消除之。
4)吸氣管或氣鎮閥橡膠件裝配不當，損壞或老化應調整或更換。
5)油孔堵塞。真空度下降，可放油，拆下油箱，松開油嘴壓板，拔出進油嘴，疏通油孤盡量不要用紗頭擦零件。
6)真空系統有嚴重污染，包括容器、管道等，應予清洗。
7)旋片彈簧折斷，應予調新。
8)旋片、定子或襯套磨損，應予檢查，修整或調換。
9)泵溫過高，這不但使油粘度下降，飽和蒸氣壓升高，還可能造成泵油裂解．應改善通風冷卻，降低環境溫度．如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻后再進入泵內，環境溫度高，應盡量采用較好的高速真空泵油或3 ＃擴散泵油。
10)由于零件的變形磨損或移動使止回閥頭的zui大開啟高度降低甚至不能開啟，進油過少而使真空度降低，應調整，詳見裝配部分。
2．噴油：檢查油位是否過高，油氣分離器有無泵油或雜物，擋油板位置是否正確、牢固，吸氣口、氣鎮閥的墊片是否墊好，減霧器是否裝好。
3．漏油：查看放油螺塞、油標、油箱墊片是否損壞或裝配不當，有機玻璃有無過熱變形，應調整更換或降低油溫。
泵與支座的連接螺釘未墊好，＿未擰緊，油封裝配不當或磨損，也會漏油，但不會污染場地，不嚴重的可繼續使用，嚴重的應更換油封、墊圈或調整裝配，
4．噪聲：可因旋片彈簧折斷，進油量增大，軸承磨損，零件損壞而有所增大，應檢查，調整或更換。旋片活動不暢也會引起噪聲增大，環境溫度高，旋片熱膨脹，旋片厚度與轉子配合過緊時應把旋片改薄，厚度間隙可為0.09-0.14mm 。
5．返油：止回閥未關好，停泵后油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開檢查，止回閥頭老化變形松動，調換之。二泵蓋內油封裝配不當或磨損或老化松動，調換之。泵蓋或定子平面不平整，修整。
泵油發黑，油溫較高，可因油封外圓松動。與轉子發生磨擦引起，應及時更換油封，以免損壞旋片，油封外徑應予測量，宜選大一點的。
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